X荧光光谱仪作为分析实验室常用的一款仪器，根据检测素材的不同，选择合适自己的仪器。真空型X荧光光谱仪，相比普通型，其性能更好，但因为真空系统的存在，其维护也稍显复杂。

例如，创想仪器的EDX-9000真空型X荧光分析仪，配备真空测试系统，其有效增加了元素测试范围，探测器配备SDD的测试系统，特别是提高了Na、Mg、Al、Si 等轻元素的检出限，提高了精确度，同时在测试 Cd/Pb/Cr/Hg/Br/Cl 等其他元素的重复性稳定性有了明显的提高。

真空系统是X荧光分析仪的重要组成部分。仪器工作时，光谱室被抽成真空状态以减少空气对X射线的干扰，提高仪器的分辨率。

真空系统容易出问题的地方主要有3部分：真空泵、样品室、光谱室。分析样品时，在快门打开之前真空泵是与样品室相通的。当采用压片法进行分析时，由于抽真空会使一部分粉末抽到样品室内，因此应该定期（一个季度一次）对快门台和样品室进行拆卸和清洗。另外，由于X射线的长期照射，快门的O形密封环会慢慢失效，因此需要一年更换一次。光谱室常见的漏气部位是流气计数器，流气计数器安装在光谱室内，如果它的窗膜很薄、漏气，就会影响光谱室真空。对于真空泵主要是应该定期检查真空泵油的油质和油量，检查油质时如果有白色或黑色就说明油质不正常，应该立即更换泵油。

此外在检查真空故障，拆卸和安装各部件时要小心操作，不要让灰尘或头发掉到密封圈上，以避免产生新的漏气点，安装时可以在密封部位涂一点真空油脂。

真空型X荧光光谱仪，使用户的样品检测提供了更多的数据，提高了多种元素的检出限。