ICP光谱分析仪,即电感耦合等离子体光谱仪,是光谱仪的一个分支,主要用于检测微量及痕量元素的分析,可分析的元素为大多数的金属元素。其可广泛用于稀土、贵金属、合金材料、电子产品的分析检测,并且可对待测样品进行定性或从超微量到常量的定量分析。
将石英炬管置于高频感应线圈中,等离子工作气体(通常为氮气)持续从炬管内通过,在感应线圈上施加高频电场时,使用一个感应线圈产生电火花触发少量气体电离(或将石墨棒等半导体插入炬管内,使其在高频交变电场作用下产生焦耳热而发射热电子),产生的带电粒子在高频交变电磁场的作用下高速运动,碰撞气体原子,使之迅速大量电离,形成“雪崩”式放电。电离了的气体在垂真于磁场方向的截面上形成闭合环形路径的涡流,在感应线圈内形成相当于变压器的次级线圈并同相当于初级线圈的感应线圈耦合,这股高频感应电流产生的高温又将气体加热,电离,并在管口形成一个火炬状的稳定的等离子体焰炬。这就是ICP光谱仪光源的形成方式。
ICP光谱分析仪的应用
同样的,ICP光谱分析仪的特点是:
(1)ICP的工作温度比其他光源高。
(2)由ICP形成形成过程可知,ICP是涡流态的,且在高频发生器频率较高时,等离子体因趋肤效应而形成环状。
(3)ICP中电子密度很高,所以碱金属的电离在ICP中不会造成很大的干扰。
(4)ICP是无极放电,没有电极污染。
(5)ICP的载气流速较低,有利于式样在中央通道中充分激发,而且耗氧量也较少。
(6)ICP一般以氩气作工作气体,由此产生的光谱背景干扰较少。
ICP光谱分析仪作为微量及痕量元素分析的重要手段,就是这样的仪器。