自20世纪70年代能量色散X射线荧光光谱仪投放市场以来,经历了近30年的发展,能量色散X射线荧光光谱仪已日臻完备,无论是硬件还是软件的开发都与波长色散X射线荧光光谱仪基本同步。与早期相比,现代能量色散X射线荧光光谱仪已在以下几方面获得较大进展:
1.X荧光光谱仪谱仪整机的一体化、小型化
传统的管激发能量色散X射线荧光光谱仪由冷却水循环系统。X射线管高压发生器和测量系统三大部分组成。现代能量色散X射线荧光光谱仪已去掉了冷却水循环系统,将X射线管高压发生器和测量系统融为一体,做到了轻便、灵活。
2.X射线管
用于管激发能量色散X射线荧光光谱仪的X射线管功率小于或近于100W, 最大X射线管电流小于1mA。
3.高压发生器
X荧光光谱分析仪的高压发生器采用高频变换高压发生器,所产生的高压大于50kV。这种高压发生器。比用于波长色散X射线荧光光谱仪的高压发生器更具有体积小重量轻、耗能低、噪音小等特点。
4.探测器
a)对于高分辨探测器,不仅限于Si(Li)探测器,现在还开发出了Ge探测器,这些半导体探测器都可在室温环境中存放,工作时采用液态氮或电致冷。
b)超薄型铍( Be)窗:Si(Li) 探测器的铍(Be)窗一般为75~125μm,大大提高了测量轻元素的灵敏度。
c)高分辨:测量MnKa 5.9keV 线的能量半高宽小于150eV。