质子X荧光光谱分析仪，作为能量X荧光光谱分析法的分支，它的主要原理是什么呢？小编带你来了解一下。

质子X射线谱分析( PIXE)，它是20世纪70年代初发展起来的X射线荧光分析技术，它也属于能量色散X射线荧光分析的一种。

质子X射线谱分析就是用经高能加速器加速的质子轰击样品，使样品中分析元素的内壳层电子被激发。此时，内层将留下一个空穴，较外壳层的电子向这个空穴跃迁时，有可能发射分析元素的特征X射线或俄歇电子。在此物理过程中，发射的分析元素的特征X射线将被半导体探测器记录、经计算机进行能谱处理，最终获得被测元素的量。

质子的激发过程与利用X射线激发是不同的，与电子激发后所产生特征X射线的过程却十分相似，所产生的本底比电子激发小三四个量级；质子激发轻元素的特征X射线的激发截面远远大于X射线的激发截面，可以同时分析一个样品的主量元素和微量元素；在质子X射线谱分析中，质子束的直径比较小，分析时所需的样品量少，一般为几μg至几百mg； 另外，质子束可以聚焦，它的分析灵敏度比电子探针分析高2~ 3个数量级；该分析技术的绝对灵敏度可达10-16g，相对灵敏度为10-6~10-7；因此，质子X射线谱分析是当代进行痕量元素和微区元素分析较为有效的重要手段之一。但质子X射线谱分析的设备有个比较大的缺点就是，比较昂贵，且操作技术要求高。

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