台式X荧光光谱仪的组成中，探测器的主要作用，是将X射线荧光光量子转变为一定形状和数量的电脉冲，表征X射线荧光的能量和强度。事实上，关于探测器的问题，它其实也是有好几种的。

首先我们来说X射线的探测器的特点：

1、在所测量的能量范围内具有较高的探测效率；

2、具有良好的能量线性和能量分辨率；

3、具有较高的信噪比；

4、具有良好的高计数率特性，死时间较短；

5、输出信号便于处理、寿命长、使用方便、价格便宜。

根据这些特点，目前有三种：正计数器（流气式或封闭式）、闪烁计数器、半导体计数器。波长色散谱仪主要使用正比计数器和闪烁计数器，测量范围从铍到铀。

正比计数器

正比计数器

是以某种气体在X射线或其他射线照射下产生电离而形成电脉冲为依据的核辐射探测器。所收集的总电荷数正比于X射线光子的能量，电流脉冲幅度与初始电离成正比，在外加电压稳定时，这一正比关系相当稳定，可以得到较好的分辨率。有利于测量某些能量较低、电离密度较小的X射线荧光。由于它使用寿命长、体积小、重量轻并在常温下工作，能量代谢分辨优于闪烁计数器。

正比计数器内所充气体与需要测定的入射X射线的能量有关。气体的主要作用是将入射X射线的能量代谢成比例地变成电荷，同时，还要防止正离子移向阴极时，从阴极逐出电荷而引起二次放电。

闪烁计数器结构

闪烁计数器

闪烁计数器由闪烁体、光导、光电倍增管及相关电路组成，入射的X射线与闪烁体作用使之发光，光子经光导进入光电倍增管光电阴极并产生光电子，光电子在电位不同的各个再生极之间加速并产生倍增，在阳极上形成较强的电脉冲讯号，电讯号经前置放大器输出，供电路处理。

硅漂移探测器

半导体探测器

由于半导体探测器能量分辨率远较正比计数器和闪烁计数器好，在20世纪70年代中期已广泛用作能量色散X射线荧光分析仪的探测器。

1、漂移硅探测器和高纯硅探测器

2、锂漂移锗探测器和高纯锗探测器

3、化合物半导体探测器