简说X射线荧光光谱仪的发展，主要是说明X射线荧光分析仪的现状和发展趋势，及其X射线荧光光谱仪的拓展，及X射线荧光测量技术目前的体现方面。

自1895年德国物理学家伦琴发现了X射线，1896年法国物理学家乔治( Georgs S)发现了X射线荧光，1948年弗利德曼(Friedman H)和伯克斯(Birks L S)首先研制了第一台商品性的波长色散x射线荧光光谱仪以来，X射线荧光光谱分析技术发展迅速。尤其是20世纪90年代以来，随着电子技术和计算机的飞速发展，X射线荧光光谱仪和X射线荧光分析技术及其计算机软件的不断开发，X射线荧光光谱仪现已由单一的波长色散X射线荧光光谱仪发展成拥有波长色散、能量色散、电子探针、全反射、同步辐射和质子X射线光谱仪等一大家族。

创想EDX-6000型台式X射线荧光分析仪

X射线荧光光谱仪的不断完善和发展所带动的X射线荧光分析技术已被广泛用于冶金、地质、矿物、石油、化工、生物、医疗、刑侦、考古等诸多部门和领域。X射线荧光光谱分析不仅成为对其物质的化学元素、物相、化学立体结构、物证材料进行试测，对产品和材料质量进行无损检测，对人体进行医检和微电路的光刻检验等的重要分析手段，也是材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的--种快速、准确而又经济的多元素分析方法。同时, X射线荧光光谱仪也是野外现场分析和过程控制分析等方面首选仪器之一。

目前，无论是波长色散X射线荧光光谱仪还是能量色散X射线荧光光谱仪,谱仪测量技术的进展主要体现在以下几个方面：数据处理系统智能化、电子元件的大规模集成化和功能化、功能部件的小型化和一体化、谱仪的多功能化、样品更换自动化、谱仪的调试和维修远程化。