在X荧光光谱仪中，对于检测方面，同样是会用到探测器，在其中，正比计数器（封闭式或流气式）、闪烁计数器和固体计数器是X射线光谱分析中常用的三种探测器。这三种探测器均根据脉冲的电子放大原理工作。探测器每次吸收一个X射线光子，就形成个电脉冲。

正比计数器

正比计数器是以某种气体（如氙、氦、氩或甲烷等）吸收入射的X射线光子而形成电脉冲的。

由于篇幅有限，在这边我们先说一下封闭式正比计数器。

这种探测器适宜探测波长小于2~3埃的X射线。其中心线极(阳极)与金属管壳(阴极)是绝缘的，而且可耐1500~ 1800伏的正高压。为了操作安全，金属壳接地。探测器出、入射窗口，均由云母或铍片做成。当波长大于2.0埃的辐射通过时，不产生显著的吸收。设置出射窗口的目的是，使未被气体吸收的辐射穿过探测器时，不碰撞金属壳而形成假脉冲。

X射线光子进入探测器时，可能遇到两种不同方式的吸收，其一是，以入射光子轰击气体原子的内层电子，产生标志该原子的特征X射线（荧光）光子从而引起“逸峰”现象，发生这种吸收的可能性最小；其二是，入射光子轰击气体原子的价电子，并将其能量几乎全部转变为该电子的动能，发生这种吸收的可能性最大。一个能量为8千电子伏特的CuKa光子，可从氙原子中逐走一个价电子，其剩余能量（8千电子伏特减去氙的电离电位）全部交给该电子，变成其动能。这个获得动能的电子，又使其它氙原子电离，从而引起若干电离对,即正离子和电子。

计数器中，气体原子电离后，正离子被引向管壳而复合，电子则飞向中心线极。每个起始电子，在正高压的加速下，均能获得足够的能最迫使其它气体原子电离，每个新产生的电子又使更多的气体原子电离，这个过程称谓雪崩放电。由一对起始电离所引起的一次放电大约能够产生10^4个电子，冲击中心线极。这种放电过程发生在X射线光子被吸收后大约0.1~0.2微秒的时间内。在这样短的时间内，有大量的雪崩放电冲击中心线极，使高压瞬时降落。这种电位降以脉冲形式，经电容器输入放大电路和测量电路。在中心线极电压的恢复过程中(约1微秒)，探测器对另一个入射的X射线光子不发生响应。这个时间叫做探测器的“死时间”。

由于初始电离对数与X射线光量子能量间的线性关系和电路的线性放大，测得脉冲的幅度与X射线光子的能量成正比，因而得名正比计数器。