波长色散X射线荧光光谱仪的激发源所用的X射线管所产生的光源，原级X射线谱强度的稳定性，取决于高压发生器提供给X射线管的高压和管电流的稳定性。一般采用高频变压发生器，这种发生器的特点不仅在于它体积小、噪音小和重量轻，而且高压稳定度有很大改善。

波长色散X射线荧光光谱仪所用X射线管有侧窗型、端窗型和透射型三种。为提高超轻元素和常见元素的检测限和减小测定时间，近年来在端窗型X射线管的性能上有很多改进。功率提高到4KW或更高；改进了X射线管管型设计，缩短了阳极和样品之间的光路、铍窗厚度一般为75μm，有的30μm，对测量超轻元素十分有利。基本参数法软件比较，表明：

1、入射角和出射角分别在55°~90°和35°~45°之间变化，对轻、重元素X射线荧光强度的影响在10%以内；

2、X射线管铍窗厚度对X射线荧光轻度的影响主要是对原子序数（Z）小于16的元素，而对Z大于30的元素影响甚小；

3、铑是最好的靶材之一，其原子序数相对较大，所产生的连续谱和K系、L系特征谱特别适用于轻、重元素测定。