X射线荧光分析法同其他分析技术一样，不是完美无缺的。在物质成分分析中，它对一些轻元素)的测定还不完全成熟，只能是属于初期应用的阶段。常规分析中某些元素的测定灵敏度不如原子发射光谱法高（采用同步辐射和质子激发的X射线荧光分析除外），根据各个工业部门生产自动化的要求（例如选矿流程中的自动控制分析），X射线荧光分析法正在不断完善中。某些新发展起来的激发、色散和探测新技术还未能得到普遍的推广应用，仪器的自动化和计算机化水平尚待进一步提高。突出的是，在快速分析方面至今实验室的制样自动化水平仍然是很低的，还不能适应全自动x射线荧光分析仪连续运转的要求。

在仪器技术的改进方面对于常规的X射线荧光分析来说，为提高分析灵敏度，这种改进主要仍决定于激发、色散和探测等三个基本环节。

在激发源方面，常规X射线管对轻元素的激发，除铑靶外，还发现钪靶的效率较高。新型的强大的同步辐射源在分析上的应用研究也已开始，在特征x射线外延吸收谱精细结构研究中更引起人们的高度重视。

在色散元件方面，随着一些新型晶体尤其是轻、重元素交替淀积的碳化物多层膜质晶体的发展，在提高衍射效率方面对轻元素分析有可能获得较大的效益。对于超长波X射线色散用的各种分析晶体和光栅在提高分辨率和扩大应用范围方面，不断取得新的进步。

在探测器方面，作为能谱仪的心脏，可以在室温下工作，具有优良能量分辨本领的碘化汞晶体探测器也正在开发之中。

实验室X荧光光谱仪的发展

可以说，以上仪器三个基本环节的突破，以及仪器结构的不断改进（例如能量与波长色散谱仪的结合等），对于提高仪器的使用水平必将有很大的促进。此外，基本参数法的推广应用，尚有赖于有关方面不断地提高质量衰减系数、吸收陡变、荧光产额和原级x射线光谱的强度分布等基本参数的准确度。

至于分析理论和方法的发展，在物质成分的分析方面主要包括克服基体效应的基础研究和扩大分析应用范围两方面。现在，基体效应的数学校正法正在通过校正模型的更深入研究和计算机软件的进一步开发，向更高水平的方向发展。而且，随着制样技术的逐步自动化，各种物理化学前处理方法的改进，对于扩大分析含量范围，包括进一步开展痕量元素测定等工作，在各应用部门中仍然有着发展的前景。