在X射线荧光光谱分析仪中，X射线管的在使用时是需要进行冷却的。X射线管有侧窗型和端窗型两种。侧窗的阳极接地，灯丝接负高压。端窗型的则是灯丝接地。端窗型冷却靶用的水必须是电阻很大的纯水，并使用装有离子交换树脂的循环水装置，而端窗型的则可用饮用水。

那为什么端窗的要用高电阻的纯水，含有离子交换树脂的循环水装置用来干什么的。

X射线管的冷却

光管产生的99%以上的能量是转换成了热能，大量的热能必须要用循环流动的水来带走，还不能用一般的水，必须是高纯度的去离子水，因为如果导电的话，光管可能就报废，而离子交换树脂的作用就是去离子，当刚换循环水的时候，水的电导率偏高，但是运行一段时间后，电导率就降低，这就是离子交换树脂的作用。

X射线管的冷却

去离子水确实直接对阳极靶进行冷却。X射线管的外部冷却水管式金属的，而内部为了电绝缘却又很长一段冷却水管是螺旋状的尼龙管（为增加绝缘距离）。阴极（灯丝）与阳极靶被封闭在高真空腔体内（防氧化及降低X射线的衰减），由玻璃外壳固定阳极靶并隔离绝缘油（高压电缆插座外壳及螺旋状的尼龙管浸在高压绝缘油中）。因此要求冷却水中不能存在金属离子，以免导电造成X射线管对地放电、击穿。去离子水的绝缘指标为2us/cm。