波长色散X射线荧光光谱仪是荧光光谱仪两大类的一种，下面就为大家揭示波长色散X荧光光谱仪的结构。

1. X射线管

现代波长色散X射线荧光光谱仪的X射线管有以下特点：

1)小功率化：X射线管的小功率化不仅使X射线管自身的体积缩小，而且无需外冷却水循环系统。用于波长色散X射线荧光光谱仪的X射线管功率已减至1kV或更低。

2)铍(Be)窗超薄化：X射线管的铍窗厚度一般为75~ 125μm，有的X射线管的铍窗厚度仅有30μm，这样大大提高了初级X射线的透射率；

3) X光管端窗“超锐”化：这种“超锐”X射线管外形独特，头部尖细，内部采用陶瓷绝缘，其设计更加紧凑、合理、精确。窗口至样品的距离较常规端窗管短（约16mm），大大提高了X射线辐照强度。而且，由于采用优良的绝缘和长寿命的灯丝，延长了X射线管的使用寿命。

4)X光管双靶化：为了使轻重元素都能获得最佳激发效率，---些仪器厂家将X光管设置成双靶型。如日本株式会社理学RIX300采用Rh/Cr，Rh/ W双靶X射线管。

2.高压发生器

近年来，谱仪的高压发生器几乎都采用高频变换高压发生器，这种高压发生器具有体积小、重量轻、不需庞大的水冷系统、耗能低、噪音小等特点。发生器的高压稳定性也较高，一般说来，当网路电压波动不超过±10%时，稳定性可达0.0005%，从而保证了X射线管所发射X射线强度的高稳定性。

3.测角仪

测角仪是顺序式X射线荧光光谱仪的核心部件，也是同时式多道X射线荧光光谱仪中扫描的基本部件。现代波长色散X射线荧光光谱仪的测角仪都由原来的机械齿轮传动测角仪改进为光学编码控制的测角仪。过去使用的机械齿轮传动测角仪的体积较大，扫描速度慢，定位精度受到一定限制，其定位精度一般只能达到±0.001°。新型光学编码控制测角仪的定位精度可达±0.0001°，扫描速度为0.001 ~ 1.27°/s。

4.探测器和计数器

在现代波长色散X射线荧光光谱仪中，探测器和计数器的最大线性计数率由原来的100000/s扩展到1000000/s，甚至最大线性计数率可达4×1000000/s。正比计数器逐渐由原来的流气式向封闭式过度。采用封闭式正比计数器后，工作时既无需配制工作气体，又防止了气体质量的不一致和流量变化对测量结果的影响，从而保证了测量结果具有更好的再现性。