X荧光光谱分析是一种目前应用相当广泛的分析手法，科研人员也在一直研究，并发展出很多的分支分析手法，像全反射荧光光谱分析，质子X荧光光谱分析，当然也有下面的电子探针显微分析及同步辐射X射线分析。

电子探针显微分析( EPMA)

电子探针显微分析亦简称为电子探针，它是20世纪60年代初投入实际应用的一种非破坏性的仪器分析方法。它由最初的能量色散型X射线荧光分析发展成今天的既可做能量色散分析，又可进行波长色散分析。它是用聚焦成很细的电子束照射被检验样品的表面，用X射线光谱仪测量其产生的X射线的能量或波长与强度，从而对该微小区域所含元素进行定性或定量分析。

电子探针显微分析仪的主要用途，是研究样品中直径1~ 100μm 的微区、深度为几μm区域内的元素浓度分布。分析元素的范围可从原子序数4( Be)到92( U)，最小探测限度可达0~0.01%，绝对灵敏度约为10-15g。通常，样品只限于固体，包括金属、矿物、陶瓷、生物样品等。样品的形式是块状、粉末、小零件、薄膜、细丝、金相剖面等。

同步辐射X射线分析( SRXRF)

同步辐射光源是一种新的XRF光源，它利用同步辐射加速器储存环中高速运转电子来激发分析元素。同步辐射加速器产生的X射线能量(波长)连续可调，分析灵敏度高，相对灵敏度可达10-9， 绝对最低检出限为10-10~10-15g或更低。由于同步辐射X射线源的注入能量小，不致使样品蒸发，元素浓度也不会进行重新分布，化学键也不会被破坏，生物样品也可以不致失去活力。但由于同步辐射X射线荧光分析的设备较为昂贵，且分析技术要求高，所以，同步辐射X射线荧光分析一般仅作为研究和特殊样品的分析之用。