X荧光光谱仪作为广泛应用的仪器，实现了定性和定量分析，但是就定量分析而言，又该如何保证其分析精度。

使用X荧光光谱仪进行样品的定量分析，需基于以下三点基本需求：（一）样品基体相对稳定；（二）分析元素种类有限，往往针对样品中几个元素分析；（三）存在一系列的标准样品或容易制备定值样品。

X荧光光谱仪的定量分析检测

如果要保障X荧光光谱仪的定量分析精度，对于以下四点需要注意：

样品制备

X荧光分析技术样品制备简单，但并非无需样品处理，X荧光分析技术对样品中元素分布均匀性、样品颗粒度、样品表面光滑度、表面粉尘、矿物效应等有要求，这些方面都会不同程度影响分析精度，可以通过相关的样品制备方法消除或者改善这些影响，譬如：研磨、压片、抛光、熔片等方法是X荧光分析技术通常采用的样品制备方法。

定量模型

X荧光分析定量模型的建立要充分考虑标准样品的选择、基体的匹配、校正算法的建立、目标样品的适用性等，这些方面都会影响到定量精度，往往这些方面需要分析工作者有丰富的经验。

样品适应性

即使建立可靠的定量模型，但对目标样品适应性也非一直如此，也要充分考虑目标样品的物理形态、元素含量范围、基体与标准样品一致性等条件，这些条件与建立定量模型采用的标准样品不一致，会一定程度造成定量误差。

质量控制

在分析目标样品过程中，采用其它实验室分析方法进行定量精度的控制是必要的，不同分析方法存在偏差是必然的，当偏差较大时，应进一步充分验证两种分析方法的精度，目标是提升X荧光分析技术定量精度。

使用X荧光光谱仪可进行定性定量分析检测，当然对于定量分析，我们需要注意的就是上面所说的情况。