影响X荧光光谱仪的检测样品，受到了一些因素的影响，其影响的主要原因在于谱线的干扰，但是谱线的干扰其实又是由多种原因造成。

1、在X荧光光谱仪分析中，某些元素间可能有全部或者部分谱线重叠。基本参数方程要求使用没有受到谱线重叠影响的净强度。在这些方程中包含某些经验的修正。

2、干扰也可能来自康普敦谱线或者X射线管中靶材所产生的特征谱线，这些通过使用滤光轮去除，但同时也可能导致分析谱线强度的降低。

3、在X射线光谱仪分析中，在某些元素间可能存在元素间干扰或者基体效应。来弥补这些效应的经验方式就是制备一系列校正标样的曲线，浓度范围涵盖要分析的范围。此时需要仔细设计的参考物质。就是所有不需要分析的元素的含量固定，而要分析的元素浓度不同。这就是所谓基体匹配。当然，在X荧光光谱仪分析中可使用数学方法来弥补元素间或者基体的效应。

4、X荧光光谱仪分析中，干扰也可能来自金相结构的误差，由于分析目标元素的密度受到样品的质量吸收系数的影响，而且数学模型假设的是均质物质，由此带来误差。例如，在含有碳和碳化物的钢材中，钛和镍可能以钛镍化碳合物的方式存在，相比铁对于钛的K-a谱线来讲，其具有较低的质量吸收系数，钛的密度高于这个样品。

5、对于X射线荧光光谱仪由于分析的固体进样性质，以及样品表面的性质可能与标样的差异，导致分析的偏差。

X荧光光谱仪的使用

综上所述，如果样品和标样，在密度、结构、成分组成、浓度、表面情况、样品中待测试元素的含量是否在标样范围内、每次样品放置的位置等因素，都会对X荧光光谱仪的分析结果造成影响，避免这些影响的方法就是在检测时保持样品和标样测量的一致性，这样误差就能尽可能的避免。