X荧光光谱仪分析检测方法是一种应用相当广泛的仪器，无论对于固体、液体、粉末，更甚至于对空气也可进行检测分析。

关于对X荧光光谱仪的分析方法，它是可以定性定量分析的方法。

X荧光光谱仪定性分析。不同元素的荧光X射线具有各自的特定波长或能量，因此根据荧光X射线的波长或能量可以确定元素的组成。如果是波长色散型光谱仪，对于一定晶面间距的晶体，由检测器转动的2θ角可以求出X射线的波长入，从而确定元素成份。对于能量色散型光谱仪，可以由通道来判别能量，从而确定是何种元素及成份。

X荧光光谱仪定量分。X射线荧光光谱法进行定量分析的根据是元素的荧光X射线强度Ii与试样中该元素的含量Ci成正比：Ii=Is×Ci式中Is为Ci=100\%时，该元素的荧光X射线的强度。

X荧光光谱仪的多种检测

X荧光光谱仪样品制备。进行x射线荧光光谱分析的样品，可以是固态，也可以是水溶液。无论什么样品，样品制备的情况对测定误差影响很大。对金属样品要注意成份偏析产生的误差；化学组成相同，热处理过程不同的样品，得到的计数率也不同；成份不均匀的金属试样要重熔，快速冷却后车成圆片；对表面不平的样品要打磨抛光；对于粉末样品，要研磨至300目-400目，然后压成圆片，也可以放入样品槽中测定。

对于固体样品如果不能得到均匀平整的表面，则可以把试样用酸溶解，再沉淀成盐类进行测定。对于液态样品可以滴在滤纸上，用红外灯蒸干水份后测定，也可以密封在样品槽中。总之，所测样品不能含有水、油和挥发性成份，更不能含有腐蚀性溶剂。

使用X荧光光谱仪对样品进行分析的检测，是一种广泛应用的方法。