众所周知，X荧光光谱仪是一款使用定量分析方法的分析仪器，要有一套已知含量的标准试料系列（经化学分析过的或人工合成的），通过测量标准试料系列和未知试料的X射线强度并加以比较。具体来说有下面三种方法。

①标准曲线法

测量一套（一般不少于5个）与分析试料理相类似的标准试料，将标准试料中分析元素的含量与X射线强度的关系绘制校准曲线用以求得未知试料中分析元素的含量。应用本法时要注意共存元素的影响，必要时选取用适当数学模式求得影响系数并加以校正。

②内标法

对于添加某一成分后易于混合均匀的样品，如溶液，可采用内标法，即把一定量的内标元素加到分析元不能含量已知的试料中作为标准试料，测量标准试料中分析元素与内标元素的X射线强度比，用该强度比相对分析元素含量绘制校准曲线。分析试料中也加入同-种内标物质和同样的量，按同样方法求得X射线强度比，从校准曲线求得含量。内标法适合含量高于10%的元素的测量，应注意不要因加入内标元不比而对分析线产生选择吸收、选择激发或重叠干扰。适当的基体元素谱线和散射线也可作为内标线。

创想 EDX-6000型X荧光光谱仪

③标准加入法

标准加入法也称增量法，即在试料中加入一定量的分析元素，根据X射线强度的变化而求得试料中分析元素的含量。使用这种方法要求分析元素含量与相应的X射线强度成线性关系且增量值不应少于二个，该法适用于元素含量小于10%的测定。