X荧光光谱仪是作为物质分析测试的重要手段，其应用主要取决于仪器技术和理论方法的发展。

目前X荧光光谱仪主要有三种类型：实验室使用、采用各种不同激发源的荧光X射线光谱仪和非色散的荧光分析仪；小型便携式的X射线荧光分析仪；工业上的专门仪器如多光路的X射线量子仪等。这些仪器和方法分别在工业上如冶金、地质、化工、机械、石油等，农业上，医药卫生和科研如物理、化学、生物、滴血、天文学等获得了广泛应用。分析范围包含了元素周期表中绝大部分元素，超铀元素也有人利用此法进行测定，分析灵敏度随仪器条件及分析对象和待测元素而异。

作为常量分析，现代仪器的高度稳定性，X荧光光谱分析法的准确度已可与经典的化学分析法相媲美。即便对不久前才开展起来的轻元素分析，也是如此。此外由于现代仪器的高度自动化，X荧光光谱分析法在炉前分析和工艺流程的控制分析上也有不错的应用，一些工业国家已经在工矿企业里普遍使用，已经成为一种很有地位的常规分析手段。

X荧光光谱分析仪的应用

X荧光光谱仪可有效的用于测定薄膜的厚度和组成，例如在冶金工业上测定镀层或金属薄片的厚度，在涂料工艺上测定涂层的厚度以及在其它工业部门中用于金属腐蚀、感光材料、磁性录音带和光量子放大器等以测定其薄膜厚度和组成，它也可以用在动态的分析上，连续测定某一体系在它的物理化学作用过程中组成变化的情况。例如，由于相变产生的金属间的扩散，固体从溶液中沉淀的速度，固体在固体中扩散和固体在液体中溶解的速度，溶液混合的速度以及表面腐蚀的速度等等。

作为一种重要检测手段，X荧光光谱仪分析技术已经得到广泛的发展。