X射线荧光光谱仪，其实就是利用检测荧光强度达到确认样品中被测元素含量的仪器。原子荧光光度计，顾名思义，也是一款利用检测荧光强度来达到确认样品中被测元素含量的仪器。其实，大家都清楚，这是两款不同的仪器，那他们的区别在哪呢？
首先我们可以参照各自的原理：
首先说X射线荧光光谱仪，“受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。”
而相比较下，原子荧光光度计呢，“利用硼氢化钾或硼氢化钠作为还原剂，将样品溶液中的待分析元素还原为挥发性共价气态氢化物（或原子蒸汽），然后借助载气将其导入原子化器，在氩—氢火焰中原子化而形成基态原子。基态原子吸收光源的能量而变成激发态，激发态原子在去活化过程中将吸收的能量以荧光的形式释放出来，此荧光信号的强弱与样品中待测元素的含量成线性关系,因此通过测量荧光强度就可以确定样品中被测元素的含量。”
虽然都是利用的X荧光，但是真的是区别很大，其中主要是两点：
一、激发光源方面。原子荧光用的光源很多，如各种激光等，但很少见有用X-射线的；而X射线荧光则是用X射线作激发光源。
二、用途方面。原荧主要用来作定量分析，尤其是金属元素的定量分析；而X荧主要用来作定性分析和结构分析。当然二者的仪器构造、使用方法、检测范围、样品制备等等都不一样。
另外原子荧光在检测过程上，是：样品，消解，赶酸，5%-10%酸定容，生成氢化物气体，高温原子化，光源激发，产生荧光，检测荧光强度定量。这样一个过程，它常用于食品化妆品中微量元素检测，定量级别PPB-PPT。而X荧光，定量级别在PPM级。
以上，大概就是X荧光光谱仪与原子荧光光度计的大体区别了。