利用X射线来对样品进行检测，并不只有X射线荧光光谱仪，还有X射线衍射仪，那X射线衍射仪（XRD）与X射线荧光光谱仪（XRF）之间，有什么区别呢？

X射线衍射仪（XRD）

单晶衍射仪和粉末衍射仪，对材料进行晶体结构物相分析，出的结果是晶面衍射角度，定性分析；算不同晶面间距的衍射峰的强度来推物相的含量的，定量分析。

原理：X射线是原子内层电子在高速运动电子的轰击下跃迁而产生的光辐射，主要有连续X射线和特征X射线两种。晶体可被用作X光的光栅，这些很大数目的原子或离子/分子所产生的相干散射将会发生光的干涉作用，从而影响散射的X射线的强度增强或减弱。由于大量原子散射波的叠加，互相干涉而产生最大强度的光束称为X射线的衍射线。

满足衍射条件，可应用布拉格公式：2dsinθ=λ

应用已知波长的X射线来测量θ角，从而计算出晶面间距d，这是用于X射线结构分析;另一个是应用已知d的晶体来测量θ角，从而计算出特征X射线的波长，进而可在已有资料查出试样中所含的元素。

使用XRD确定未知晶体结构分析过程

X射线荧光光谱仪（XRF）

对材料进行成份分析的仪器，通过测定二次荧光的能量来分辨元素的，测定元素（算波长）定性和算元素的谱线强度来推浓度定量分析。

原理：利用初级X射线光子或其他微观离子激发待测物质中的原子，使之产生荧光(次级X射线)而进行物质成分分析和化学态研究的方法。按激发、色散和探测方法的不同，分为X射线光谱法(波长色散)和X射线能谱法(能量色散)。

波长色散型和能量色散型谱仪的原理图

总结，XRD为材料物相分析，XRF为材料成分分析。