使用X荧光光谱仪作为检测手段，一般来说，单就定性而言，直接检测也是可以了，但是如果需要作准确的定量分析，就需要将样品做预处理。

分析样品数量少至几毫克，多则几千克甚至更多，必须进行预加工。样品加工一般包括研磨、缩水、干燥和保存等步骤。研磨的作用是消除或改善样品不均匀性对分析结果的影响。

X荧光光谱仪样品的常规预处理方法

粉末压片法

粉末压片法的大致过程为：干燥-焙烧-混合-研磨-压片。干燥的目的是除去吸附水，提高制样的精度；焙烧可改变样品的矿物结构，从而克服矿物效应对分析结果的影响；混合研磨可降低或消除不均匀效应。

文物的检测研究

熔融法

有些样品，即使磨成很小的颗粒，也还是存在颗粒度效应和矿物效应，只有通过熔融形成玻璃体，方能消除。

使用X荧光光谱仪对多类样品均可以实现检测分析，其应用范围广泛：

(1)用于陶瓷材料及色釉料中各元素的分析检测；

(2)用于水泥产品原料、渣块元素成分的检测；

(3)钢中碳、锰含量分析；

(4)检测石化产品中的硫元素，监控作为生产效率指标的Fe，Na，Sb及K元素；分析石油焦、废油里的S，Ni，Cl和V含量；

(5)监控润滑油里的添加剂和稳定剂；

(6)分析大气中浮游尘、气溶胶、水源污染情况及食品中含有的有害金属等；

(7)分析血样、头发、牙齿、淋巴细胞、活性酶中微量元素与人体健康、疾病的相关性；

(8)无损分析古玩文物组分：辨别真伪，确定其年份；

(9)分析飞船带回的月岩、陨石等成分；

(10)测定地下水样中砷浓度，依据金矿与砷同时存在的特征找出金矿；

(11)分析土壤中微量元素，确定作物种植的适宜性。

除以上应用例子外，X荧光技术还可用于半导体中微量杂质的测定、表面污染的监控等，而且其应用面还在不断拓展。