能量色散型X荧光光谱仪是X荧光光谱仪系列中一种应用更常规的仪器。更适合企业的常规测量。但是我们在使用过程中，也需要时刻注意误差。我们按其不同性质归为三大类，分别为系统误差、随机误差与过失误差。

(1)系统误差

由于在能量色散型X荧光光谱仪测定过程中某些固定的原因，造成测定结果经常性偏高或偏低，出现比较恒定的正误差或负误差，这种误差称为系统误差，或者称为固定误差、可测误差，它是测定结果中的主要误差来源。系统误差的特点是，这种误差在测定过程中按一定规律重复出现，并具有一定的方向性，表现为测定结果经常性偏高或偏低，增加测定次数并不能减少系统误差。正因为系统误差往往由确定的原因所造成，故它可以被认识，也可以被修正，而使系统误差得以消除或减少。

系统误差

(2)随机误差

随机误差又称偶然误差或不可测误差，它是在测定过程中一些难以控制的偶然因素所引起的。所谓偶然因素，是指它对测定结果的影响变化不定，误差时正时负，时大时小，这种误差无法确定，也无法校正。随机误差在测定操作中总是不可避免的，但随着测定次数的增加，就可发现测定数据分布呈现下述规律性。

对称性。值相等而符号相反的误差出现的次数大致相等，也就是说，测定值以它们的算术平均值为中心呈对称分布。

有界性。在一定条件的有限测定值中，其误差值不会超过一定界限。

单峰性。值小的误差出现的次数多，大误差出现的次数少，特大误差出现的次数更少，也就是说，随机误差以测定值的算术平均值为中心相对集中地分布。

抵偿性。在一定条件下，对同一个量的测定，随机误差的算术平均值随测定次数的增加而趋近于零。也就是说，随机误差平均值的极限值为零。

对称性、单峰性、有界性及抵偿性，也就是随机误差所具有的基本特性。

(3)过失误差

过失误差也称粗大误差或疏忽误差。这是在能量色散型X荧光光谱仪测定过程中，由于人为的差错，使用不合格的计量器具或在不符合标准规定的条件下所产生的误差。过失误差无一定的规律性，含有过失误差的测定结果，反映其数据呈现异常偏大或偏小。只要严格地执行有关标准，在测定中仔细小心地操作，过失误差是不难避免的。

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