X荧光光谱仪是一种应用非常广泛的仪器，其应用主要还是因为仪器技术和理论方法的不断发展。但为什么能这么广？

利用X射线荧光进行分析的仪器有三种主要类型：实验室用的、采用各种不同激发源的荧光X射线光谱仪和非色散的荧光分析仪；小型便携式的X射线荧光分析仪；工业上的专门仪器如多光路的X射线量子仪等。这些仪器和方法分别在工业上如冶金、地质、化工、机械、石油等，农业上，医药卫生和科研如物理、化学、生物、滴血、天文学等获得了广泛应用。

X荧光光谱仪的分析范围包含了元素周期表中绝大部分元素，超铀元素也有人利用此法进行测定，分析灵敏度随仪器条件及分析对象和待测元素而异。新型仪器检出限一般达10-5~10-6克/克，某些可以达到10-7~10-9克/克。

X荧光光谱分析的广泛应用

常量分析，由于现代仪器的高度稳定性，X射线荧光分析法的准确度已可与经典的化学分析法相媲美。由于现代化仪器的高度自动化，X荧光光谱分析仪已可进行轻元素分析，作用于工业上作炉前分析或工艺流程的控制分析，一些发达工业国家已经在工矿企业里普遍使用，成为一种很有地位的常规分析手段。

除此之外，它可有效地用于测定薄膜的厚度和组成，例如在冶金工业上测定镀层或金属薄片的厚度，在涂料工艺上测定涂层的厚度以及在其它工业部门中用于金属腐蚀、感光材料、磁性录音带和光量子放大器等以测定其薄膜厚度和组成，它也可以用在动态的分析上，连续测定某一体系在它的物理化学作用过程中组成变化的情况。

X荧光光谱仪的广泛使用，对于某些产业的发展起到了相当重要的作用，促进了现代化的发展。