在使用能量色散X荧光光谱仪进行检测时，就是利用谱线强度的不同来测定所测元素的不同含量。在X荧光光谱仪中，其中一个主要部件即是靶材，但是不同的靶材，因为元素的内部结构与特征不同，导致了X射线原级谱的差异。而不同原级能谱分布又影响了谱线的分析准确度，所以事实上，不同的靶材对X荧光光谱仪的检测结果会有影响。

目前，市场上用的zui广的就是Cr、Mo、W 三种阳极靶材，他们对入射电子的吸收、散射作用都有所不同，在模拟利用三种元素作为靶材测量四张不同春元素所产生的测量谱线，分析得出不同靶材对测量光谱产生的影响因素。针对模拟结果，利用能量色散X射线荧光光谱仪进行实际测量验证，通过对四种元素的测量光谱分析，得到三种靶材的原级谱分布对测量光谱产生的影响。根据模拟和实验的验证，不同的元素靶材其原级谱线的特征谱、强度、波长、射线产额等都存在差异,这种差异对测量光谱造成光谱叠加、背景淹没等影响。在实际测量光谱工作中，需要针对测量元素(包括：原子序数、含量等)进行靶材的筛选，这对实际元素检测中降低检出限、定性分析、定量测量等方面起到关键性作用。

不同靶材

事实证明，不同靶材确实对于X荧光光谱仪的检测有着影响。