X荧光光谱仪的检测方法是一种应用十分广泛的方法，以创想仪器出产的X荧光光谱仪为例，在目前多单位都有着不错的应用，合金检测、矿石材料分析、煤炭材料检测。那什么是X荧光光谱仪的分析方法。

进行X荧光光谱仪可检测的样品，能固态，也能液态，但是不管是哪种样品，样品制备的情况对测定误差影响还是很大的。对金属样品要注意成份偏析产生的误差；化学组成相同，热处理过程不同的样品，得到的计数率也不同；成份不均匀的金属试样要重熔，快速冷却后车成圆片；对表面不平的样品要打磨拋光；对于粉末样品，要研磨至300目-400目，然后压成圆片，也可以放入样品槽中测定。对于固体样品如果不能得到均匀平整的表面，则可以把试样用酸溶解，再沉淀成盐类进行测定。对于液态样品可以滴在滤纸上，用红外灯蒸干水份后测定，也可以密封在样品槽中。总之，所测样品不能含有水、油和挥发性成份，更不能含有腐蚀性溶剂。

X荧光光谱仪的定性定量分析

使用X荧光光谱仪测量，可以做定性分析，也可能进行定量分析。

定性分析：

不同元素的荧光X射线具有各自的特定波长或能量，因此根据荧光X射线的波长或能量可以确定元素的组成。如果是波长色散型光谱仪，对于一定晶面间距的晶体，由检测器转动的2θ角可以求出X射线的波长λ，从而确定元素成份。对于能量色散型光谱仪，可以由通道来判别能量，从而确定是何种元素及成份。但是如果元素含量过低或存在元素间的谱线干扰时，仍需人工鉴别。

定量分析：

可以采用标准曲线法，增量法，内标法等进行定量分析。但是这些方法都要使标准样品的组成与试样的组成尽可能相同或相似，否则试样的基体效应或共存元素的影响，会给测定结果造成很大的偏差。所谓基体效应是指样品的基本化学组成和物理化学状态的变化对X射线荧光强度所造成的影响。化学组成的变化，会影响样品对一次X射线和X射线荧光的吸收，也会改变荧光增强效应。

X荧光光谱仪使用X射线荧光分析方法，对多种样品进行检测分析，使用广泛。