X荧光光谱仪利用一种原理：利用被高压加速的电子轰击金属靶，电子被金属靶所减速，便向外辐射X射线。这些X射线中既包含了连续谱线，也包括了特征谱线。检测特征谱线强度就能可知样品内各元素含量。

除光电吸收外，入射光子还可与原子碰撞，在各个方向上发生散射。散射作用分为两种，即相干散射和非相干散射。

相干散射：当X射线照射到样品上时，X射线便与样品中的原子相互作用，带电的电子和原子核就跟随着X射线电磁波的周期变化的电磁场而振动。因为原子核的质量比电子大得多，原子核的振动可忽略不计，所以主要是原子中的电子跟着一起周期振动。由于带电粒子的振动，又产生新的电磁波，以球面波形式向四面八方射出，其波长和位相与入射X射线相同。又由于不同的电子都发射电磁波，就构成了一群可以相干的波源，这种现象叫做X射线相干散射。

台式X荧光光谱仪的广泛应用

非相干散射：当X射线与原子中束缚力较弱的电子或自由电子发生碰撞，电子被碰向一边，而X射线光子也偏离了一个角度。此时，X射线光子的一部分能量传递给电子，转化为电子的动能。X射线光子就失去一部分能量，因为E=hν=hc/λ，X射线光子碰撞后能量减小、频率变小、波长变大。由于碰撞后，各光子的散射方向不一样，各光子失去的能量也不一样，这样它们的波长各不相同，两个散射波的位相之间没有关系，因此不能形成干涉作用，故这种散射称为非相干散射。

非相干与相干散射的相对强度

非相干与相干散射线的产生机理是不同的，其相对强度亦与入射X射线的波长、散射角θ、以及散射体的原子序数有关。

非相干散射与相干散射强度比随物质的原子序数增加而降低。物质组成元素的原子序数越低时，非相干散射作用越强。故轻元素会产生非常强的Compton（康普顿）峰，甚至掩盖待测元素的有用信息。

在X荧光光谱仪中，射线产生两种散射现象。创想仪器GLMY凭借多年在元素分析领域的经验，研发生产了X荧光光谱仪这款仪器，满足了很多非金属检测客户的需求。