X荧光光谱分析方法是目前应用范围比较广的分析方式，据了解，使用X射线来检测，可实现合金、矿石、土壤、RoHS等多种检测。在常规的仪器了解中，小编一直以为X荧光光谱仪里的X荧光都是由X射线管产生的，然而其实并不是这样的。

以X射线管的一次辐射激发荧光已经成为X荧光光谱分析的比较常用的方法，其实主要原因还是这种方法成本低，试样更换比较方便，荧光强度较高。但其实，放射源激发，直接电子激发或质子轰击等具有一些独特的地方，可以供一些分析工作选用。

放射源激发

这里面有两种主要的放射源，一种是放射γ射线，另外一种放射电子（β粒子），而且能在某能源中转化为X射线。射电子(β粒子)，而且能在某能源中转化为X射线。如果能很方便地把氢引入经过选择的任何元素，在多种情况下，β发射体是理想的放射源。放射源的优点是体积小，与X射线管相比成本低。但缺点是强度低，有些同位素寿命短。如与X射管相比，其强度之低，以致无法采用色散X射线的晶体分光计，而只能采用能量色散(常称为非色散法)装置。

直接电子激发

在总功率相等的前提下，直接电子激发所提供的强度比X射线激发引起的荧光强度高两万倍。但是试样必须置于电子源真空系统内。当然，这对高速真空系统而言，是不难实现的，这就是电子探针微区分析所使用的方法。对于中等原子量元素，来自连续谱的背景影响使电子激发的探测能力局限于20~100ppm；X射线激发法的最低可测含量为1~ 10ppm。在低原子序数元素的测定中，关键的问题是如何获得足够的强度，直接电子激发则能提供较高的强度。

X荧光光谱仪的内部检测原理

质子激发

关于质子激发，已经做过研究，而且认为，这种方法在某些方面是极其有益的。在质子激发中，不存在可测的连续谱，这与电子激发相比，是一个突出的优点。一般说来，质子源的成本较电子源或X射线管都高。之前认为，在激发薄膜的X射线时，质子比电子更有效，其理由是质子的穿透本领小。但是，在X射线产额相同的条件下质子能量约比电子能量高一百倍，因此高能质子的穿透能力实际上大于低能电子。