X荧光光谱分析仪，广泛应用于冶金、水泥、高校等领域，可以对样品进行快速定性和定量分析，为化学分析提供一种快速物料检验方法。X荧光光谱仪也有真空型系列，由于是在高真空度环境下进行检测，分光室真空度的好坏对其检测的速度和精度影响较大。下面就为大家带来的是常规的真空泄漏故障的处理方法：

在待机状态下真空值较高

1.分光室真空度达到或超过15 Pa仪器在待机状态时分光室真空系统真空度要保证≤15 Pa，超过就需要拆卸试样室，清理真空系统，必要时更换光闸O形环。当真空度>15Pa时，在排除真空泵故障的情况下，试样室阀漏气的可能性最大，其次应检查停电进气阀是否关闭不严、快门O形环是否老化。

2.待机状态下真空值总在40 Pa左右待机状态下真空度总在40 Pa左右，而且Pr气（一氧化碳和甲烷的混合气体）压力稳定不住时，就要考虑FPC（正比流气计数器）的铍窗是否破损泄漏，此时应关闭Pr气，给分光室放气，然后关机拆卸分光室，更换铍窗。由于铍窗非常薄，容易破损，如果没有更换经验，最好请厂家工程师指导更换。

创想GLMY EDX-6000型X荧光光谱仪

在试样进入试样室后真空度下降速度慢

此状态真空变差，在排除试样室进气阀和停电进气阀关闭不严的情况下，可确定试样室漏气。应维护清洁试样室，检查试样室各个O形环及试样台上的小黄色密封环是否老化破损。