X荧光光谱分析是现代常规分析中的重要方法，利用原级X射线光照射待测物质中的原子，使之产生次级X射线荧光，从而进行物质的成分分析和化学态研究。

事实上，根据性能和应用范围，可以将X荧光光谱仪分为几种，实验室使用的台式X荧光光谱仪，小型便携式X荧光光谱仪，手持式X荧光光谱分析仪及工业用仪器。

X荧光分析仪的定性和半定量分析具有谱线简单、无损检测、操作简便、快速检测、易克服基体的吸收和增强效应等优点，使用手持式X荧光光谱仪或者便携式X荧光分析仪可在野外和现场进行分析检测，这是实验室仪器所不能做到的。

实验室用X荧光光谱仪

定量分析可分为两类，即实验校正法（或称标准工作曲线法）和数学校正法。它们都是以分析元素的X荧光（标识线）强度与含量具有一定的定量关系为基础的。70年代以前，数学校正法发展较慢，主要用于一些组成比较简单的物料方面；大量采用的是实验校正法。其中常用的有外标法、内标法、散射线标准法、增量法、质量衰减系数测定法和发射-吸收法等。70年代以后，随着X荧光分析理论和方法的深入发展，以及仪器自动化和计算机化程度的迅速提高，人们普遍采用数学校正法。其中主要包括经验系数法、基本参数法和经验系数与基本参数联用法等。应用这些方法于各种不同分析对象，可有效地计算和校正由于基体的吸收和增强效应对分析结果的影响。对于谱线干扰和计数死时间，也可以得到有效的校正。这些方法除基本参数法外，一般都比较迅速、方便，而且准确度更高。在许多领域中，无论是少量或常量元素分析，其结果足与经典的化学分析法媲美，因而在常规分析中，X荧光分析法和原子吸收光谱法、等离子体光谱分析法一起，并列为仪器分析的主要手段。