X荧光光谱仪分析，之前我们是说过，应该起始于伦琴发现X射线开始，应该我们小时候也学过他的文章，连环画也写，X射线也被广泛应用于各行各业，对于我们分析仪器厂商来说，X射线的应用，主要在于对被测物的检测，利用其原理。从被发现至今，经过完善理论阶段，直至目前的应用蓬勃发展阶段，在经历了几代人努力，125年的发展，共有波长色散、能量色散、全反射、同步辐射、质子X射线荧光光谱仪和X射线荧光分析仪等，真的是一个大家族。

X射线荧光光谱分析的发展之所以如此迅速，一方面是由于微电子和计算机技术的飞跃发展，另一方面也是为了满足科学技术对分析的要求。当然，这还与这种分析技术的特点有关：

(1)可直接对块状、液体、粉末样品进行分析，也可对小区域或微区试样进行分析，如质子X射线荧光通过良好聚焦的带电粒子束可提供0.5μm的束斑。

(2)从常规分析的角度来说，其分析结果的准确度已经可以与化学分析相媲美。除去电费和简单的样品制备外，分析成本很低。虽然一次性投资较大，但一般在三五年内便可以收回成本。

(3)可分析镀层和薄膜的组成及厚度，如用基本参数法薄膜软件可分析多达十层膜的组成和厚度。

(4)随着计算机技术的发展已经可以对样品进行在线基体校正，而且解除了试样与标准样形态一致的限制。

X荧光光谱技术飞速发展

(5)X荧光光谱仪已实现自动化、智能化、小型化和专业化，在性能上有很大改进。

(6)对仪器光源的稳定度要求从上世纪八十年代的0. 1%发展到现在的0. 04%，从而进一步保证了测量结果的可靠性。

(7)X荧光分析法是无损分析方法，随着分析技术的发展，已广泛用于古陶瓷、金属屑、和贵重首饰的组成分析，为文物断源及断代提供了重要的支持。

(8)能量色散谱仪已成为在线分析的首选，尤其是低分辨率谱仪。

(9)波长色散和能量色散的检测范围大幅提升，检测限已达10-9~10-12g，以满足众多物质的分析要求。

(X)利用波长色散光谱仪已经可以测定元素的价态、配位和键能等化学信息。

我国在此领域的研究有着不错的规模基础，但实话实讲，我们在此方面的研究，还是缺少一定的深入及长期的研究。但我国的科研人员在此方面还是在不断的深入地研究，定会在不久的将来赶上国际同等水准。