和直读光谱仪对氩气的高要求相同，使用高频红外碳硫仪也是需要高纯度的氧气。
红外碳硫分析仪使用的氧气要很纯，而我们市场上卖的氧气的纯度一般为99.5%，有的含量可能还要更低些，其中含少量水分及微量二氧化碳，一氧化碳，CH4等气体。如果这些混杂的气体如果不预先去掉，那么就会使试样碳的测定结果偏高，所以我们必须对所用氧气要进行净化处理。
我们在测定超低碳时，氧气须再进一点净化，方法是使氧气再通过一个净化管，即加热至1200度到1300度的空瓷管使一氧化碳等杂质氧化成二氧化碳，然后我们用碱石棉吸收，这样才可使空白降至更低。