在使用X荧光光谱仪的过程中，涉及到了定性和定量分析，下面来简单讲述一下在使用X荧光光谱仪中，定性与定量分析的方法：

一、定性分析

定性分析是X荧光光谱分析的基础，因为只有从仪器获得的谱图中辨认峰谱，才能知道待测试样中还有那些元素，并且分析待测元素的主要谱线，以及常见的干扰谱线，以便选择合适的测量谱线，用于定量分析方法，确定谱线的重叠校正方法，选择校正元素，终达到准确测试样品的效果。

定性分析的方法：

1、 判断仪器的能量刻度是否正确，可以用已知元素的样品进行测试，观察是否能够正确识别样品中的元素。如果不正确，需要重新建立能量刻度。

2、 首先判断X光管靶材的特征峰位。其峰位处的峰谱，可能不是样品所含有的元素。

3、 分辨元素峰谱的K线和L线，一般情况下，52＃（Te，碲）元素以前的元素，大多测试其K线，但35＃～52#之间的元素，其L线也可以被检测出来，同时它的L线会对轻元素测量产生影响。52＃以后的元素一般测试其L线。

4、 K线一般有K线必然有K线，线的强度比例在5:1左右，L线必然有L、L…等4条线，在判断是否是某元素时必须考虑这一因素。

5、 观察各个线之间的干扰，找到干扰的元素线系，并确定重叠干扰线之间的影响程度。

二、定量分析

X荧光的定量分析可以简化为以下公式，它受四种因素影响：

Ci＝KiIiMiSi

式中：C为待测元素的浓度，下标i式待测元素；K为仪器的校正因子；I式测得的待测元素X射线荧光强度，经过背景、谱重叠和死时间校正后，获得的纯强度。M式元素间的吸收和增强效应校正。S与样品的物理形态有关，如试样的均匀性、厚度、表面结果等，要通过制样来消除。

根据以上的简化公式，可以将定量分析的方法分为以下几个步骤：

1、根据样品的物理形态和对分析精度与准确度要求，决定采用何种的制样方法。确定了制样方法后，应了解制样的误差主要因素，应该在方法中加以注意。

2、用标准样品确定的分析条件，如：X射线管的管压，管流，原级谱滤光片，测量时间等。

3、确定强度的提取方法。

4、制作工作曲线。

5、用标准样品验证分析方法的可靠性及分析数据的不确定度。