X荧光光谱仪作为有效检测多种类样品的仪器，能检测什么形态，固体，液体，又或者气态也可能。无论是哪种类型样品，样品制备的越好，其测量的误差就越小。

其实对于任何检测仪器来说，前期样品处理的越好，测量的精度就会越高，测量结果越可靠。在实际检测过程中，应该尽量对被测量样品进行必要的物理处理。

标准样品的状态（如粉末样品的颗粒度、固体样品的表面光洁度以及被测元素的化学态等）应和被测量样品的状态一致，或者能够经适当的方法处理成一致。被测量样品在研磨过程中，有可能把样品中的夹杂物磨掉，造成某些元素分析结果偏低，或者也可能发生表面沾污。

X荧光光谱仪样品的制备

分析低铝时，如果使用氧化铝作磨料，表面就可能被沾污，这时需要采用碳化硅磨料，反之如果分析低硅时，应采用氧化铝磨料。所以，在分析硅时，应该使用刚玉型的砂纸，在分析铝时则应该使用金刚砂型的砂纸。对于有色金属如铝合金、铜合金等，由于其比钢铁试样软，不能用砂纸研磨，应该用车床，以保证样品表面光洁度。

这其实都是因为样品本身影响了检测精度，a. 颗粒度；b. 表面粗糙度；c. 偏析；d. 矿物效应；e. 元素间的吸收和增强效应。

X荧光光谱仪的分析作为一种对比分析方法，特别是经验系数法，测得的X射线强度与相应元素浓度的对应关系完全是建立在标准样品的基础之上的，所以必须制备足够数量的标准样品，标样的质量直接决定了分析结果的可靠性。