X荧光光谱仪作为一种常用的分析检测仪器，其已经广泛应用于多产业领域及科研方向。但是此种仪器在轻元素的检测上还不成熟，尚属于初期应用的阶段，怎么样才能进一步提高X荧光光谱仪的检测灵敏度呢？

在仪器技术的改进方面，为提高分析灵敏度，这种改进主要仍决定于激发、色散和探测等三个基本环节。

在激发源方面：常规X射线管对轻元素的激发，除铑靶外，还发现钪靶的效率较高。新型的强大的同步辐射源在分析上的应用研究也已开始，在特征X射线外延吸收谱精细结构研究中更引起人们的高度重视。

在色散元件方面：随着一些新型晶体，尤其是轻、重元素交替淀积的碳化物多层膜质晶体的发展，在提高衍射效率方面对轻元素分析有可能获得较大的效益。对于超长波X射线色散用的各种分析晶体和光栅，在提高分辨率和扩大应用范围方面，不断取得新的进步。

在探测器方面：作为能谱仪的心脏，可以在室温下工作，具有优良能量分辨本领的碘化汞晶体探测器也正在开发之中。可以说，以上仪器三个基本环节的突破，以及仪器结构的不断改进，对于提高仪器的使用水平，必将有很大的促进。

提高X荧光光谱仪检测精度

分析理论和方法的发展：在物质成分的分析方面主要包括克服基体效应的基础研究和扩大分析应用范围两方面。现在，基体效应的数学校正法正在通过校正模型的更深入研究和计算机软件的进一步开发，向更高水平的方向发展。随着制样技术的逐步自动化，各种物理化学前处理方法的改进，对于扩大分析含量范围，包括进一步开展痕量元素测定等工作，在各应用部门中仍然有着发展的前景。

随着科学技术的不断深入研究，X荧光光谱仪的应用精度将更准确，应用范围也将更广。