X射线荧光光谱分析仪的种类有很多,之前大多是讲的能量色散型和波长色散型,但,但是还有其他种类的。科研工作者不断的发展、丰富X荧光光谱仪种类,拓展分析技术。其中,有一种就是全反射X射线荧光光谱仪。
全反射X射线荧光分析(TXRF)实质上是能量色散X射线荧光(EDXRF)分析技术的拓展,它是20世纪80年代在能量色散X射线荧光分析基础上发展起来的新的仪器分析技术。
近几年来,全反射X射线荧光分析技术正引起X射线光谱分析工作者的极大兴趣和关注,在工农业生产、地质勘探、环境保护、科学研究等部门中得到了广泛的推广应用。
目前,TXRF分析灵敏度已提高到10-15g级,并将其应用领域进一步拓宽到超薄层分析(nm级)、结构分析、剖面分析和超大规模集成电路材料表面分析(对表面污染的分析能力已达到108原子/ cm2);分析元素的范围可从原子序数11(Na)到92(U),如采用超簿窗探测器和无窗X射线管,还可测定轻于Na的元素;TXRF用于痕量分析可与中子活化分析(NAA)、原子吸收光谱(AAS)、电感耦合等离子体-原子发射光谱( ICP-AES)、电感耦合等离子体-质谱( ICP-MS)、火花源质谱(SSMS)等先进技术媲美,于表面分析可与次级离子质谱(SIMS)、X射线光电子谱(XPS)和卢瑟福反向散射光谱(RBS)等现代仪器争优。因此,TXRF分析被誉为目前国际上最具竞争力的分析工具,具有美好的开发和应用前景。