老话有讲：人有失足，马有失蹄。在X荧光光谱仪测量时，需注意到有误差的存在，我们需要的是认识到它，分辨它，尽量的规避它，使测量结果尽可能精确。由于产生误差的原因不同，各种误差具有不用的性质，显示出不同的基本特征。通常我们将误差分为系统误差、随机误差与过失误差三类。

1、系统误差

由于在测定过程中某些固定的原因，造成测定结果经常性偏高或偏低，出现比较恒定的正误差或负误差，这种误差成为系统误差，也可以说是固定误差、可测误差，它是测定结果中的主要误差来源。

特点：这种误差在测定过程中按一定规律重复出现，并具有一定的方向性，表现为测定结果经常性偏高或偏低，增加测定次数并不能减少系统误差。正因为系统误差往往由确定的原因所造成，所以它可以被认识，也可以被修正，这样我们可以使系统误差得以消除或减少。

2、随机误差

随机误差又称为偶然误差或不可测误差，它是在测定过程中一些难以控制的偶然因素所引起的。所谓偶然因素，是指对测定结果的影响变化不定，误差时正时负，时大时小，这种误差无法确定，无法校正。

随机误差在测定操作中总是不可避免，但随着测定次数的增加，可以发现测定数据分布呈现以下规律。

对称性：绝对值相等而符号相反的误差出现的次数大致相等，也就是说，测定值以它们的算术平均值为中心呈对称分布。

有界性：在一定条件的有限测定值中，其误差绝对值不会超过一定界限。

单峰性：绝对值小的误差出现的次数多，大误差出现的次数少，特大误差出现的次数更少，也就是说，随机误差以测定值的算术平均值为中心相对集中的分布。

抵偿性：在一定条件下，对同一个量的测定，随机误差的算术平均值随测定次数的增加而趋近于零。也就是说，随机误差平均值的基线值为零。

这上面所说的四个特性，就是随机误差的基本特性。

3、过失误差

过失误差的存在，其实就是认为的疏忽造成的，是在测定过程中，由于认为的差错，使用不合格的计量器具或再不符合标准规定的条件下所产生的误差。

过失误差无一定的规律性，含有过失误差的测定结果，反映其数据呈现异常偏大或偏小。只要严格地执行有关标准，在测定中仔细小心地操作，过失误差是不难避免的。