X射线的照射面积，当在进行测量时，实际就是X射线照射在样品上进行检测，那X射线的照射面积，是否和仪器的分辨率产生联系，照射面积增加会不会导致分辨率的下降呢？

荧光的照射面积跟测量出来的强度有关系。分辨率跟分光晶体、准直器、探测器等有关系。

照射面积可以通过视野光栏来调节，一般有0.5mm、1mm、5mm、10mm、28(30)mm等等。照射面积影响的是样品出来荧光的强度，面积大，强度大。如果配合线性记数范围，结果会更准确。

对共聚焦的是面积大强度小。一般的荧光都是面积大而强度大的，比如说测试某一样品中的Si，用30mm的视野光栏时，强度为1000kcps，当用1mm时，强度就只有1个多kcps了。照射面积的大小直接影响测试结果的准确性，因为强度相同的情况下，照射面积大，检测器检测到的信号越多，准确度应该高些。

对于短窗型X射线设计而言，照射面积加大，效果比较好一点，比如说一些可调光斑面积的X射线系统，5MM光斑的测试效果比10MM的测试效果差很多；对于聚焦型X射线管而言，加大面积，单位照射强度降低，效果就比较差，比如说HORIBA的1.2MM的光斑，如果增加到12MM的光斑的话，效果就没有1.2的好。

影响分辨率的主要是准直器，分光晶体和探测器，准直器越小分辨率越高，弯晶分辨率高于平晶。探测器分辨率主要跟材料的物理性质有关。