X射线荧光光谱仪具有无损快速检测的优点，其原理、优点，具体可看。

X射线荧光光谱仪（XRF）由激发源（X射线管）和探测系统组成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品产生X射线荧光（二次X射线），检测器检测X射线荧光。元素的原子受到高能辐射的激发，引起内部电子的跃迁，并发射特殊波长的X射线。根据莫斯利定律，荧光X射线的波长与元素的原子序数有关。

根据量子理论，X射线可以看作是由一种量子或光子组成的粒子流，每束光都有一定的能量。因此，只要测量荧光X射线的波长或能量，就可以知道元素的类型，这是荧光X射线定性分析的基础。另外，荧光X射线强度与相应元素含量有一定关系，可以进行元素定量分析。

X荧光光谱仪

优点：

1.样品制备简单，可对固体、粉末、液体样品进行分析。

2.分析精度高。目前，含量已达到百万分之一的水平。

3. X射线荧光分析是一种物理分析方法，因此也可以用来分析化学性质属于同一族的元素。

4.无损分析。不会引起化学状态的变化和样品的散射现象。同一样品可重复测定，重现性好。

5. X射线荧光光谱与样品的化学结合状态无关，也与固体、粉末、液体、晶体、非晶等物质的状态无关。（密封在容器中的气体也可以被分析）但是在高分辨率精密测量中，我们可以看到波长变化的现象。

6.分析速度快。测定时间与测定精度有关，但通常很短。样品中的所有元素可在10-300秒内测定。

近年来，X射线荧光光谱法在各行业的应用范围不断扩大，已成为冶金、地质、有色金属、建材、商检、环保、卫生等领域特别是RoHS检测领域广泛应用的检测设备。