X荧光光谱仪是用来测定物质重元素的种类和含量的仪器，物质中每种元素的原子能级结构都是特定的，跃迁时产生的特征X射线的能量也是固定的（两轨道电子壳层的能量差）。因此通过测定特征X射线的能量，便可以确定相应元素，而特征X射线的强弱则代表该元素的含量。在使用X荧光光谱仪时，其小故障该怎么处理。

X射线光管频繁自动关掉，其主要原因是X光管发生器的温度升高，这时候我们需要清理或更换X光管发生器的排风扇，即可解决这个问题。

X荧光光谱仪有自检功能，但是在使用时发现不自检，不联机，不复位，而且多次重新启动都一样。在经过一系列操作过后：卸真空后，重新启动计算机，荧光自检、联机、复位正常，但在抽真空时，不能抽，出现大于25Ka时间太长，经查发现油泵和样品室之间的过滤网堵塞严重，经更换后正常。

X荧光光谱仪不能联机，可以关光管，关机，重新启动，将“ICS”内容去掉后正常。

X荧光光谱仪进样时间变长，甚至不能分析，在经过研究，检查黄铜盖更换O型环，仍然漏气，卸真空，揭入盖，清小车，更换进样轴封，确定是进样轴封漏气导致了此状况产生。

真空型X荧光光谱仪

X荧光光谱仪样品盒进去后不出来，经过检查，盒盖未盖上，只放在上面，导致盒超出范围，进去后出不来，又不能进行初始化。此时关光管，关机，重新启动，但不需要进行初始化。

X荧光光谱仪荧光分子泵停，真空度高，大概率是由光谱室内漏气导致。卸真空，揭大盖、清小车上下密封环。

X射线荧光光谱仪用于固体、粉末或液体物质的元素分析。工作的基本原理是X射线管发出的初级X射线激光试样中的原子，产生的荧光X射线通过晶体分光并用探测器测量，根据各种元素特征X荧光谱线的波长和强度进行元素的定性和定量分析。