X荧光光谱仪是一种基于XRF(X Ray Fluorescence,X射线荧光)光谱分析技术的光谱分析仪器，具有、便携、准确等特点。

荧光光谱仪的应用非常广泛，涉及：电力、石化、考古、金属加工、压力容器、废旧物资回收、航空航天、地质勘探、矿山测绘、开采、矿石分选、矿产贸易、金属冶炼、环境监测、土壤监测、玩具、服装、鞋帽、电子产品等众多领域。那它是由哪些组成部分构成的呢，主要有由光源、单色器（滤光片或光栅）、狭缝、样品室、信号检测放大系统和信号读出、记录系统组成。

光源用来激发样品，单色器用来分离出所需要的单色光，信号检测放大系统用来把荧光信号转化为电信号，联结于放大装置上的读出装置用来显示或记录荧光信号。

X荧光光谱仪的组成

1.激发光源

理想化的激发光源：由于荧光体的荧光强度与激发光的强度成正比，因此，作为一种理想的激发光源应具备：①足够的强度；②在所需光谱范围内有连续的光谱；③其强度与波长无关，即光源的输出应是连续平滑等强度的辐射；④光强要稳定。符合这些要求的光源实际上并不存在。可作为激发光源的主要有氙灯、汞灯、氙-汞弧灯、激光器以及闪光灯。高压氙弧灯是荧光光谱仪中应用zui广泛的一种光源。

2.单色器和滤光片

单色器的主要作用是把光源发出的连续光谱分解成单色光，并能准确方便地“取出”所需要的某一波长的光，它是光谱仪的心脏部分。单色器主要由狭缝、色散元件和透镜系统组成，其中色散元件是关键部件。色散元件是棱镜和反射光栅或两者的组合，它能将连续光谱色散成为单色光。

棱镜单色器：棱镜单色器是利用不同波长的光在棱镜内折射率不同将复合光色散为单色光的。棱镜色散作用的大小与棱镜制作材料及几何形状有关。常用的棱镜用玻璃或石英制成。可见分光光度计可以采用玻，它适用于紫外、可见整个光谱区。

光栅单色器：光栅作为色散元件具有不少独特的优点。光栅可定义为一系列等宽、等距离的平行狭缝。光栅的色散原理是以光的衍射现象和干涉现象为基础的。常用的光栅单色器为反射光栅单色器，它又分为平面反射光栅和凹面反射光栅两种，其中zui常用的是平面反射光栅。光栅单色器的分辨率比棱镜单色器分辨率高（可达±0.2nm），而且它可用的波长范围也比棱镜单色器宽，且入射光80%的能量在一级光谱中。近年来，光栅的刻制复制技术也在不断地改进，其质量也在不断的提高，因而其应用日益广泛。

狭缝：狭缝是单色器的重要组成部分，直接影响到分辨率。狭缝宽度越小，单色性越好，但光强度也随之减少。

滤光片：荧光测量的主要误差来自杂散光和散射光。消除这些误差源除用单色器外还可用滤光片。滤光片具有便宜、简单等优点，因此它在荧光光谱仪中有广泛的应用。滤光片可分为玻璃滤光片、胶膜滤光片和干涉滤光片三种。本仪器所用的是玻璃滤光片。玻璃滤光片含有各种不同的金属氧化物，因而呈现不同的颜色。它们透过的光线带宽较宽，且因受金属氧化物种类的限制，品种不多。但它具有稳定、经得起长期光照和便宜等优点。

X荧光光谱仪的组成和原理

3.检测器

检测器有光电倍增管（PMT）和电荷耦合器件阵列检测器（CCD）。

PMT是一种很好的电流源，在一定的条件下，其电流量与入射光强度成正比。虽然PMT对各个光子均起响应，但是平时都是测量众多光子脉冲响应的平均值。

电荷耦合器件阵列检测器（CCD）是一类新型的光学多通道检测器，它具有光谱范围宽、量子效率高、暗电流小、噪声低、灵敏度高、线性范围宽，同时可获取彩色、三维图像等特点。CCD是一种灵敏的固体成像装置，一般来说CCD的有效成像面积为1～8cm2。

4.读出装置

以前，荧光仪器的读出装置有数字电压表、记录仪（x～y型或x～t型）和阴ji示波器等几种。

现今，随着计算机软硬件的发展使得人们可以根据不同的需要选择不同的直观的视频读出方式。